Glen Wilk指出,隨AI與高效能運算需求攀升,晶片正加速垂直3D化,沉積製程的精準度與厚度控制成為核心挑戰。ASM的ALD與Epi技術能在GAA與CFET架構中提供原子級均勻性與覆蓋率,支援高密度、低功耗設計。他並提出「選擇性沉積(ASD)」技術,能只在指定位置沉積材料,有助提升良率與可靠度,適用於先進製程與異質整合應用。

隨著FinFET走向極限,GAA與CFET成為主流。Glen Wilk強調,GAA時代通道不再依賴微影蝕刻,而是透過磊晶「長出來」,使磊晶技術在先進邏輯製程中地位更形關鍵。他也指出,自7奈米起,線寬微縮放緩,性能提升更多仰賴設計技術協同優化(DTCO)、系統技術協同優化(STCO)及先進封裝,進一步凸顯薄膜沉積的精準控制需求。

ASM今年亦參與AI半導體技術概念區,設置互動攤位並推出「原子層沉積大師」遊戲,讓參觀者透過數位裝置模擬工程師堆疊導電層、介電層與3D結構層,體驗原子級精準工藝。

ASM目前在ALD市佔率逾五成,連續八年維持雙位數成長,並計畫至2028年前持續擴編。台灣總經理呂秉澄表示,公司已深耕台灣近20年,近五年規模成長三倍,據點遍及林口、新竹、台中、台南與高雄。今年至2026年底將新增逾百個職缺,並持續強化國際訓練與跨國輪調機制,展現台灣工程師在全球布局的關鍵角色。