家碩科技主要專注於半導體微影製程中包括光罩清洗、交換、儲存、管理等光罩傳載自動化設備，主要應用於EUV光罩及高階製程之光罩傳載自動化技術解決方案。旗下子公司昇和精技股份有限公司於114年成功研發PVD高溫濺鍍設備，此開發設備已進入實驗認證階段，透過濺鍍方式成長氮化鋁及氮化镓磊晶的技術有所突破，並於2025年6月與「TPSA台灣顯示器暨應用產業協會」進行技術分享與交流，有望未來能將此技術導入化合物半導體磊晶製程技術應用。
家碩科技在高階光罩充氣技術深耕多年、有堅強的專利佈局，其中搭配母公司家登精密的載具存放、連續充氣式倉儲設備等解決方案，品質穩定且高附加價值已獲得多家國際大廠認證採用，進入全球晶圓製造領導廠商之供應鏈。因應半導體產業發展兼顧環境永續發展，近期在光罩充氣儲存方案上，家碩與客戶合作創新與改良充氣技術，此方案有助於優化充氣氣體使用量，協助半導體生產製造符合ESG永續經營之要求。此外，隨著半導體高階2奈米製程發展，客戶端對於EUV光罩充氣與長期儲存需求攀升，於114年下半年訂單能見度提高。家碩亦同步與客戶偕同開發光罩、晶圓、後段封裝新產品應用，以穩健營運及創新技術為公司注入營收動能。